Entwicklung, Konstruktion und Aufbau des Handlingsmodul und der Peripherie für den Hochdurchsatz-MOVPE-Reaktor zur Abscheidung von III-V-Halbleiter für die solare Wasserspaltung

Ergänzend zu meinem Masterstudium im Maschinenbau an der Universität Bayreuth arbeite ich als Werkstudent bei der Firma HQ-Dielectrics, welche am H₂Demo-Projekt beteiligt ist.

Unser Projektbeitrag ist die Entwicklung und der Aufbau des Hochdurchsatz-MOVPE-Reaktors zur Abscheidung von III-V-Halbleitern für die solare Wasserspaltung.

Mein Teil ist die Konstruktion des Handlingsmoduls. Dieses sitzt vor dem Reaktor und ist für den schnellen Austausch von prozessierten und zu prozessierenden Wafern unter Vakuum zuständig und sorgt dadurch für möglichst wenig Stillstand und hohen Durchsatz.

Neben diesem müssen alle Maschinenrahmen und die Peripherie der Medien (Wasser, Gas, Kühlluft, etc.), geplant werden. Dabei ist viel Abstimmungsaufwand mit Herstellern anderer Baugruppen, wie zum Beispiel der Abgasnachbereitung und der Glovebox erforderlich.

Darüber hinaus bin ich direkt in den mechanischen Aufbau eingebunden. Dies gibt mir die unglaublich wertvolle und nicht industrieübliche Gelegenheit, meine eigene Konstruktion zu montieren und konstruktive Schwächen oder Fehler aus erster Hand zu erkennen. Durch mein Vorwissen und meine Ausbildung zum Industriemechaniker (Studium und Ausbildung im Rahmen des Ulmer Modelles) ist es möglich, schnell Lösungen zu entwickeln und im Team umzusetzen.

Mit meiner bisher geleisteten und weiterhin zu leistenden Arbeit trage ich aktiv zur Realisierung einer Schlüsselkomponente für die Erstellung des Demonstrators bei. Für die wertvollen Erfahrungen, die ich durch die notwendige Abstimmung mit Partnern und bei der Entwicklung einer hochkomplexen Anlage mache, bin ich sehr dankbar. Die bei der Mitarbeit an diesem Projekt erworbenen Fähigkeiten, werden mir bei meiner anstehenden Masterarbeit sehr helfen.